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    橢圓偏振測厚儀

    更新時(shí)間：2024-05-11

    產(chǎn)品型號：TP-TPY-1

    廠(chǎng)家性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商

    訪(fǎng)問(wèn)次數：507

    簡(jiǎn)要描述：

    產(chǎn)品特點(diǎn)：
    儀器采用消光法自動(dòng)測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及方便測量等特點(diǎn)；
    光源采用氦氖激光器，功率穩定、波長(cháng)精度高；
    儀器配有生成表、查表以及精確計算等軟件，方便用戶(hù)使用。

    橢圓偏振測厚儀 偏振測厚儀 測厚儀 型號：TP-TPY-1

    在近代科學(xué)技術(shù)的許多領(lǐng)域中對各種薄膜的研究和應用日益廣泛。因此，更加精確和迅速的測定給定薄膜的光學(xué)參數已變得更加迫切和重要。在實(shí)際工作中可以利用各種傳統的方法測定光學(xué)參數，如：布儒斯特角法測介質(zhì)膜的折射率，干涉法測膜厚，其它測膜厚的方法還有稱(chēng)重法、X射線(xiàn)法、電容法、橢偏法等。由于橢圓偏振法具有靈敏度高、精度高、非破壞性測量等優(yōu)點(diǎn)，因而，橢圓偏振法測量已在光學(xué)、半導體、生物、醫學(xué)等諸多領(lǐng)域得到廣泛應用。

    產(chǎn)品特點(diǎn)：
    儀器采用消光法自動(dòng)測量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及方便測量等特點(diǎn)；
    光源采用氦氖激光器，功率穩定、波長(cháng)精度高；
    儀器配有生成表、查表以及精確計算等軟件，方便用戶(hù)使用。
     
    規格與主要技術(shù)指標：
    測量范圍：薄膜厚度范圍：1nm-300nm；      折射率范圍：1-10
    測量最小示值：≤1nm                      入射光波長(cháng)：632.8nm  
    光學(xué)中心高：80mm                         允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm    
    偏振器方位角范圍：0°- 180°讀取分辨率為0.05°
    測量膜厚和折射率重復性精度分別為：±1nm和±0.01
    主機重量：25kg    入射角連續調節范圍：20°- 90°精度為0.05°
     
    成套性：主機、電控系統、計算軟件
    外形尺寸：680*390*320mm


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