• 產(chǎn)品分類(lèi)
    相關(guān)文章
    您現在的位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品展示 > > > 德國SPS-EUROPE SPN150i勻膠機

    勻膠機

    更新時(shí)間:2024-05-05

    產(chǎn)品型號:德國SPS-EUROPE SPN150i

    廠(chǎng)家性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商

    訪(fǎng)問(wèn)次數:400

    簡(jiǎn)要描述:

    德國SPS-EUROPE公司SPINCOATING品牌勻膠機具有轉速穩定,啟動(dòng)快速,涂膠一致性和均勻性好等特點(diǎn),廣泛應用于半導體、化工材料、硅片、晶片、基片、導電玻璃等工藝制版表面涂覆。

    工作原理

    勻膠機(spin coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時(shí)間有關(guān)。

    *特征

    可編程全尺寸彩色觸摸屏控制器,可拆卸,耐化學(xué)試劑腐蝕;速度、加速和時(shí)間可編程;無(wú)*程序存儲空間,可存儲旋涂多步驟工作協(xié)議;具有協(xié)議密保功能;

    可編程轉速范圍: 1rpm-12,000rpm;轉速參數設置范圍廣;高精確性旋轉速度 (± 0.1 rpm);

    數字電機控制,帶增速數字顯示信號反饋,以避免轉速過(guò)量,從而提升涂膜的品質(zhì);

    防靜電PET透明襯套,杜絕工作倉室的交叉污染;

    一體化結構,殼體采用α-聚丙烯(NPP-H)材質(zhì),傳動(dòng)系統采用工程塑料材質(zhì),壽命長(cháng)耐腐蝕;

    采用經(jīng)過(guò)熱處理透明玻璃蓋。玻璃蓋帶彈簧可自動(dòng)將蓋子固定在理想位置;玻璃蓋上帶注射器固定架和氮氣擴散器,注射器固定架以固定的位移距離和位置注入抗蝕劑/化學(xué)試劑;氮氣擴散器在旋涂過(guò)程可注入到工作艙氮氣/氬氣;工作艙環(huán)境可控;

    安全互鎖裝置:工作艙蓋鎖止;艙蓋打開(kāi)旋轉自動(dòng)停止;真空不足或沒(méi)有真空旋轉自動(dòng)停止;過(guò)載保護;

    USB端口:可上傳和下載旋涂協(xié)議和軟件;

    三個(gè)外接控制端口,可用于接入注入單元自動(dòng)控制,氮氣擴散器控制等等;

    產(chǎn)品通過(guò)CE認證。

     

    參數

     

     

    SPN150i

    SPN200i

    控制方式

    全彩觸摸屏控制界面

    全彩觸摸屏控制界面

    結構材質(zhì)

    聚丙烯(NPP-H)材質(zhì)

    聚丙烯(NPP-H)材質(zhì)

    旋轉速度

    1-12000rpm ±1rpm steps

    1-12000rpm ±1rpm steps

    旋轉精度

    ±0.1rpm

    ±0.1rpm

    旋轉方向

    順時(shí)針,逆時(shí)針,交換擺動(dòng)

    順時(shí)針,逆時(shí)針,交換擺動(dòng)

    加速/減速

    1-30,000rpm/秒 (每步可選)

    1-30,000rpm/秒 (每步可選)

    旋轉時(shí)間

     0.1-99999秒/步

     0.1-99999秒/步

    基片范圍

    160mm 或6"直徑或4"x4"方片

    260mm 或6"直徑或6"x6"方片

    腔體直徑

    202mm

    302mm

    外接控制端口

    3個(gè)

    3個(gè)

    真空開(kāi)關(guān)

    外形尺寸

    27.5x45.0x25.0cm(WxDxH)

    380x559x307cm(WxDxH)

     

    留言框

    • 產(chǎn)品:

    • 您的單位:

    • 您的姓名:

    • 聯(lián)系電話(huà):

    • 常用郵箱:

    • 省份:

    • 詳細地址:

    • 補充說(shuō)明:

    • 驗證碼:

      請輸入計算結果(填寫(xiě)阿拉伯數字),如:三加四=7
    客戶(hù)至上 用心服務(wù)
    在線(xiàn)客服
  • 舟曲县| 忻城县| 铜陵市| 济南市| 噶尔县| 云林县| 邻水| 余干县| 香河县| 衡东县| 建湖县| 汶川县| 泽普县| 宁南县| 福清市| 德昌县| 自贡市| 中江县| 神木县| 张掖市| 怀来县| 胶南市| 沅陵县| 瑞昌市| 嫩江县| 类乌齐县| 洱源县| 同江市| 上虞市| 乌苏市| 锡林郭勒盟| 潍坊市| 惠州市| 康马县| 墨江| 崇义县| 天门市| 陕西省| 八宿县| 漳州市| 上栗县| http://444 http://444 http://444 http://444 http://444 http://444